Homogene Oberflächenstrukturierung von Silizium durch ultrakurze Laserpulse

Homogene Oberflächenstrukturierung von Silizium durch ultrakurze Laserpulse

Masterarbeit

Im Bereich der Laserionenbeschleunigung soll der Energieübertrag zwischen Laser und Target verbessert werden. Eine Möglichkeit dafür bietet die Mikrostrukturierung der Targetoberfläche. Die Verwendung von ultrakurzen Laserpulsen erlaubt eine Vielzahl an Variationen bezüglich Form und Größe der Mikrostrukturen. Im Zuge dieser Arbeit soll der Einfluss von verschiedenen Laserparametern und Umgebungseinflüssen auf die Bildung der Mikrostrukturen untersucht werden. Außerdem soll die Eignung solcher Targets für Laserionenbeschleunigungsexperimente geprüft werden.